真空中での現象を工業用内視鏡で観察

 

エッチング放電の使用例

• 真空中の現象は、これまで真空装置の外側からは見ることはできませんでした。
• そこで、サービスポートからスコープ（工業用内視鏡）を装置内の指定の場所に設置することで、内部の様子を鮮明な画像で観察可能にしました。
• 放電現象やロボットの動きをモニターに表示し、或いは画像として記録することが出来ます。

（右図：エッチング放電の様子）

真空用シースカバー

• 真空槽にスコープを導入するには、フランジやサービスポートから真空用シースカバーを使用します。
• 目的により石英ガラス、金属チューブ、曲がり管、ベローズなどがあります。
• リーク量は10-6Pam3/sec以下
  
  
  
  （右図：真空用シースカバー）
  
  
  
  

使用する工業用内視鏡

• カールストルツ社のボアスコープは、特許であるHOPKINS®ロッドレンズを使用しているため、深い被写界深度が特徴です。
• これは、一般的なリレーレンズ方式よりも遥かに明るく、高解像度でシャープ、かつ鮮明にイメージを捉えます。
• ラインナップも約２００種類と豊富です。
  
  
  
  （右図：工業用内視鏡）
  
  
  
  *製品製造会社：カールストルツ・エンドスコピージャパン株式会社
  （真空装置・真空技術：アルバックテクノ株式会社）
  
  
  
  

お問い合せ

• 現在、弊社ではテスト・評価のご希望があれば、専門家を貴社現場へ派遣し、実機を用いたデモ、並びにご相談のサービスを無料で実施しています。

• 真空装置への取り付けのご相談も承っています。
  
  
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